超聲引線鍵合質(zhì)量檢測與控制技術(shù)

第1章緒論1

1.1超聲引線鍵合質(zhì)量檢測與控制的意義1

1.2引線鍵合背景知識4

1.2.1引線鍵合技術(shù)4

1.2.2超聲熱壓球形鍵合工藝及鍵合原理7

第2章鍵合失效分析及鍵合質(zhì)量檢測方法10

2.1引言10

2.2鍵合質(zhì)量檢測技術(shù)12

2.2.1質(zhì)量檢測方法12

2.2.2傳統(tǒng)檢測方法13

2.2.3現(xiàn)代檢測方法17

本章參考文獻(xiàn)24

第3章鍵合系統(tǒng)關(guān)鍵部件機(jī)理分析34

3.1引言34

3.2換能器系統(tǒng)模態(tài)分析35

3.2.1模態(tài)分析理論基礎(chǔ)35

3.2.2換能器有限元模型36

3.2.3換能器模態(tài)分析37

3.3鍵合工具振動特性分析39

3.3.1鍵合工具有限元模型39

3.3.2鍵合工具模態(tài)分析40

3.3.3鍵合工具振動響應(yīng)分析43

3.4鍵合球變形分析50

3.4.1鍵合球接觸模型51

3.4.2不同加載壓力對鍵合球變形的影響52

3.5本章小結(jié)55

本章參考文獻(xiàn)55

第4章壓電效應(yīng)機(jī)理分析58

4.1引言58

4.2壓電效應(yīng)59

4.2.1壓電效應(yīng)邊界條件59

4.2.2換能器等效模型與分析62

4.3鍵合質(zhì)量檢測存在困難69

4.4本章小結(jié)70

本章參考文獻(xiàn)71

第5章鍵合質(zhì)量檢測系統(tǒng)實驗臺分析74

5.1引言74

5.2檢測系統(tǒng)實驗臺建立75

5.3鍵合實驗設(shè)計與設(shè)備工藝參數(shù)優(yōu)化76

5.3.1鍵合實驗設(shè)計76

5.3.2鍵合工藝參數(shù)優(yōu)化79

5.4壓電換能器耦合電信號獲取與預(yù)處理81

5.4.1數(shù)據(jù)采集卡的選擇82

5.4.2數(shù)據(jù)測量電路設(shè)計84

5.4.3數(shù)據(jù)觸發(fā)功能及數(shù)據(jù)采集85

5.4.4數(shù)據(jù)預(yù)處理86

5.5通過超聲電信號識別鍵合工藝參數(shù)88

5.5.1鍵合時間的識別88

5.5.2超聲功率的識別90

5.5.3鍵合壓力的識別91

5.6鍵合失效模擬實驗及分析93

5.6.1鍵合設(shè)備故障模擬93

5.6.2四類常見的鍵合失效模式93

5.6.3鍵合點抗剪強度測定95

5.7本章小結(jié)96

本章參考文獻(xiàn)97

第6章基于時頻分析的鍵合過程質(zhì)量檢測方法99

6.1引言99

6.2基于SPWD的特征提取和分析100

6.2.1WVD方法理論100

6.2.2基于SPWD的超聲電信號特征提取101

6.2.3利用BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行失效模式識別108

6.2.4SPWD方法結(jié)果討論112

6.3基于EMD的特征提取和分析112

6.3.1EMD方法實現(xiàn)過程113

6.3.2基于EMD的超聲電信號特征提取114

6.3.3EMD方法存在的問題121

6.4兩種時頻分析方法結(jié)果比較121

6.5本章小結(jié)122

第7章基于超聲電信號包絡(luò)分段細(xì)化特征提取方法124

7.1引言124

7.2包絡(luò)分段細(xì)化特征提取方法125

7.2.1超聲電信號濾波126

7.2.2濾波信號的包絡(luò)計算128

7.2.3分段細(xì)化特征提取技術(shù)130

7.2.4四類失效模式的識別133

7.2.5鍵合點抗剪強度識別136

7.3本章小結(jié)140

第8章鍵合質(zhì)量控制方法初探142

8.1鍵合質(zhì)量控制方面存在的難題143

8.2鍵合質(zhì)量控制方法構(gòu)思144

8.2.1鍵合機(jī)理分析144