電容式微機械陀螺儀設計

第一章 緒論
　1.1 微機械陀螺的技術(shù)分類
　1.2 微機械陀螺的發(fā)展現(xiàn)狀
　　1.2.1 壓電石英陀螺
　　1.2.2 壓電陶瓷陀螺
　　1.2.3 硅微機械陀螺
　1.3 電容式微機械陀螺的信號處理方法概述
　　1.3.1 驅(qū)動電路
　　1.3.2 信號解調(diào)處理方法
　1.4 電容式微機械陀螺中的技術(shù)難點
　1.5 本書主要的研究內(nèi)容
　1.6 本書的組織和安排
第二章 電容式微機械陀螺的結(jié)構(gòu)設計與加工
　2.1 電容式微機械陀螺的結(jié)構(gòu)設計
　2.2 微機械陀螺振動模態(tài)研究
　　2.2.1 驅(qū)動模態(tài)頻率的計算
　　2.2.2 檢測模態(tài)頻率的計算
　2.3 電容式硅微機械陀螺的結(jié)構(gòu)仿真
　2.4 梳齒電容的計算
　　2.4.1 驅(qū)動模態(tài)的檢測電容
　　2.4.2 檢測模態(tài)的檢測電容
　2.5 檢測模態(tài)的電調(diào)諧頻率的計算
　2.6 關鍵工藝的設計
　　2.6.1 微機械陀螺結(jié)構(gòu)加工流程
　　2.6.2 微機械陀螺真空封裝罩子的加工工藝
　　2.6.3 真空中硅玻璃鍵合工藝
　本章小結(jié)
第三章 電容式微機械陀螺信號處理方法的研究及仿真
　3.1 電容式微機械陀螺閉環(huán)驅(qū)動的研究
　　3.1.1 上電閉環(huán)自振蕩的基本原理
　　3.1.2 無自動增益控制的閉環(huán)驅(qū)動
　　3.1.3 自動增益控制的閉環(huán)驅(qū)動
　3.2 電容式微機械陀螺關鍵信號的推導
　　3.2.1 靜電驅(qū)動力
　　3.2.2 運動質(zhì)量塊的振動速度
　　3.2.3 哥氏力引起的位移
　3.3 電容式微機械陀螺角速率信號解調(diào)算法的推導
　　3.3.1 信號解調(diào)的基本原理
　　3.3.2 干擾信號對信號解調(diào)的影響
　　3.3.3 高信噪比解調(diào)算法的研究
　3.4 電容式微機械陀螺的系統(tǒng)仿真
　　3.4.1 閉環(huán)驅(qū)動過程的仿真
　　3.4.2 角速率解調(diào)過程的仿真
　　3.4.3 陀螺在沖擊環(huán)境中的模擬與仿真
　本章小結(jié)
第四章 電容式微機械陀螺接口電路的設計與仿真
　4.1 電容式微機械陀螺前置放大電路的設計
　　4.1.1 傳統(tǒng)的C／V轉(zhuǎn)換電路的設計與分析
　　4.1.2 改進的C／V轉(zhuǎn)換電路的設計與分析
　　4.1.3 前置C／V轉(zhuǎn)換電路的抗驅(qū)動信號干擾的設計
　4.2 電容式微機械陀螺閉環(huán)驅(qū)動電路的設計
　　4.2.1 高通濾波電路的設計
　　4.2.2 相移電路的設計
　　4.2.3 限幅電路的設計
　　4.2.4 AGC自動增益電路的設計
　4.3 電容式微機械陀螺角速率解調(diào)電路的設計
　　4.3.1 相位敏感解調(diào)電路的設計
　　4.3.2 二階低通濾波電路的設計
　本章小結(jié)
第五章 電容式微機械陀螺的性能測試
　5.1 電容式微機械陀螺品質(zhì)因子的測試
　　5.1.1 品質(zhì)因子測試的基本原理
　　5.1.2 靜電激勵一電容檢測法
　　5.1.3 機械激勵一電容檢測法
　　5.1.4 靜電激勵一位移特性間接檢測法
　5.2 陀螺分辨率的測試
　5.3 陀螺帶寬的測試
　5.4 AGC靜態(tài)工作點的選取
　5.5 陀螺工作狀態(tài)的測試
　　5.5.1 閉環(huán)驅(qū)動控制電路中工作狀態(tài)的測試
　　5.5.2 信號解調(diào)電路中工作狀態(tài)的測試
　5.6 靈敏度和線性度的測試
　5.7 帶寬和靈敏度的優(yōu)化
　本章小結(jié)
附錄一 電容式微機械陀螺的電原理圖
附錄二 電容式微機械陀螺的SIMULINK仿真的部分代碼
參考文獻