電子束離子束技術(shù)

　　本書主要介紹電子束離子束的產(chǎn)生、引出、加速和偏轉(zhuǎn)的工作原理，物理過程和主要部件等內(nèi)容，并通過電子束離子束在微電子領(lǐng)域中的應(yīng)用，進(jìn)一步闡述了它與納米技術(shù)信息相關(guān)的掃描隧道顯微鏡技術(shù)。本書為高等學(xué)校微電子技術(shù)專業(yè)的教科書。

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