電子束離子束技術(shù)

定　價(jià)：￥28.00

作　者：	趙玉清編著
出版社：	西安交通大學(xué)出版社
叢編項(xiàng)：
標(biāo)　簽：	電子其他

ISBN：	9787560510859	出版時(shí)間：	2002-03-01	包裝：
開本：	23cm	頁(yè)數(shù)：	254頁(yè)	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　本書主要介紹電子束離子束的產(chǎn)生、引出、加速和偏轉(zhuǎn)的工作原理，物理過(guò)程和主要部件等內(nèi)容，并通過(guò)電子束離子束在微電子領(lǐng)域中的應(yīng)用，進(jìn)一步闡述了它與納米技術(shù)信息相關(guān)的掃描隧道顯微鏡技術(shù)。本書為高等學(xué)校微電子技術(shù)專業(yè)的教科書。