3D集成手冊：三維工藝技術（第3卷）

定　價：￥128.00

作　者：	(美) 菲利普·加洛，(日) 小柳光政， (德) 彼得·拉姆
出版社：	中國宇航出版社
叢編項：
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787515921648	出版時間：	2024-05-01	包裝：	平裝-膠訂
開本：	16開	頁數：		字數：

內容簡介

　　3D集成手冊的主要編輯是來自高科技公司和著名研究機構的頂級作者，這本書涵蓋了3D工藝技術詳細的細節(jié)。因此，從技術和材料科學的角度來看，本書主要關注的是硅的形成、鍵合和解鍵合、減薄、露頭和背面處理等工藝。本書的最后一部分是關于評估和增強3D集成設備的可靠性，這是這種新興技術大規(guī)模實施的先決條件。對材料科學家，半導體物理學家，和那些工作在半導體領域，以及IT和電氣工程師有非常閱讀價值。