氣體與濕度傳感器MEMS技術(shù)及應(yīng)用

定　價(jià)：￥148.00

作　者：	汪飛，劉歡，等著;
出版社：	國(guó)防工業(yè)出版社
叢編項(xiàng)：	傳感器與MEMS技術(shù)叢書
標(biāo)　簽：	暫缺

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ISBN：	9787118134032	出版時(shí)間：	2025-05-01	包裝：	平裝-膠訂
開本：	16開	頁(yè)數(shù)：		字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　本書擬重點(diǎn)講述氣體和濕度傳感器設(shè)計(jì)制作的基本原理、方法及其應(yīng)用從氣體和濕度傳感器的器件結(jié)構(gòu)、材料、制作工藝等方面展開，分析介紹了典型傳感器件和材料的表征技術(shù)與主要性能參數(shù)，并結(jié)合國(guó)內(nèi)外前沿研究動(dòng)態(tài)提出本領(lǐng)域的發(fā)展趨勢(shì)。全書將氣體和濕度傳感技術(shù)分為三個(gè)方面：基礎(chǔ)原理（第1章~第3章）、器件分類（第4章~第9章）以及傳感器微系統(tǒng)的應(yīng)用（第10章）。本書首先闡述了氣體和濕度傳感器的基本概念，包括工作原理與結(jié)構(gòu)、主要性能參數(shù)、機(jī)理研究方法等：結(jié)合前沿研究進(jìn)展介紹了氣體和濕度敏感材料的合成方法與表征技術(shù)，以及不同納米結(jié)構(gòu)的敏感效應(yīng)：從表面加工工藝與體硅加工工藝兩方面介紹了氣體和濕度傳感器的關(guān)鍵 MEMS 工藝：在此基礎(chǔ)上分類介紹了多種氣體傳感器包括半導(dǎo)體原理、電化學(xué)原理、光學(xué)原理等以及濕度傳感器，針對(duì)每種器件從基礎(chǔ)原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)、工藝與性能參數(shù)等方面展開詳細(xì)介紹：最后結(jié)合國(guó)防應(yīng)用特點(diǎn)，列舉了氣體和濕度傳感器在航空航天、地面武裝及海洋裝備等領(lǐng)域的應(yīng)用實(shí)例。本書可作為應(yīng)用物理、微電子、電子信息、化學(xué)、材料科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域大學(xué)本科生及研究生教材，也可供在氣體和濕度傳感器領(lǐng)域工作的研究人員參考。

作者簡(jiǎn)介

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圖書目錄

第 1 章氣體和濕度傳感器的基本概念
1.1 氣體和濕度傳感器的發(fā)展歷程
1.1.1 氣體傳感器技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r
1.1.2 濕度傳感器技術(shù)的發(fā)展?fàn)顩r
1.2 氣體傳感器原理及分類
1.2.1 氣體傳感器的基本概念
1.2.2 氣體傳感器的工作原理與結(jié)構(gòu)
1.2.3 氣體傳感器的主要性能參數(shù)
1.3 濕度傳感器的原理與分類
1.3.1 濕度傳感器的基本概念
1.3.2 濕度傳感器的工作原理與結(jié)構(gòu)
1.3.3 濕度傳感器的主要性能參數(shù)
1.4 氣體與濕度傳感器機(jī)理的研究方法
1.4.1 性能測(cè)試分析
1.4.2 理論計(jì)算與仿真
1.4.3 原位表征技術(shù)
1.5 氣體與濕度傳感器的發(fā)展展望
參考文獻(xiàn)
第 2 章氣體和濕度敏感材料
2.1 納米材料的合成方法
2.1.1 氣相法合成納米材料
2.1.2 液相法合成納米材料
2.1.3 固相法合成納米材料
2.1.4 其他合成方法
2.2 納米材料的表征技術(shù)
2.2.1 納米材料的形貌表征
2.2.2 納米材料的結(jié)構(gòu)與組分表征
2.2.3 納米材料的性能表征
2.3 納米復(fù)合材料的合成與表征技術(shù)
2.3.1 無(wú)機(jī)納米復(fù)合材料
2.3.2 聚合物納米復(fù)合材料
2.3.3 有機(jī) / 無(wú)機(jī)納米復(fù)合材料
2.3.4 貴金屬修飾納米復(fù)合材料
2.4 納米材料的傳感效應(yīng)
2.4.1 納米顆粒的敏感效應(yīng)
2.4.2 納米線的敏感效應(yīng)
2.4.3 二維納米材料的敏感效應(yīng)
2.4.4 納米復(fù)合材料的敏感效應(yīng)
2.5 小結(jié)
參考文獻(xiàn)
第 3 章 MEMS 氣體和濕度傳感器的制造工藝
3.1 表面 MEMS 工藝
3.1.1 薄膜沉積與生長(zhǎng)工藝
3.1.2 圖形化工藝
3.1.3 刻蝕工藝
3.2 體硅 MEMS 工藝
3.2.1 體硅濕法腐蝕
3.2.2 深硅離子刻蝕
3.2.3 其他體的加工工藝
3.3 基于 MEMS 的氣體傳感器的制造工藝
3.3.1 硅基 MEMS 化學(xué)氣體傳感器的結(jié)構(gòu)
3.3.2 材料選擇及設(shè)計(jì)
3.3.3 案例分析
3.4 小結(jié)
參考文獻(xiàn)
第 4 章半導(dǎo)體氣體傳感器
4.1 半導(dǎo)體氣體傳感器的分類
4.1.1 電阻式氣體傳感器
4.1.2 非電阻式氣體傳感器
4.2 半導(dǎo)體氣體傳感器的原理
4.2.1 表面控制型
4.2.2 體控制型
4.2.3 半導(dǎo)體氣敏材料的增敏機(jī)理
4.3 半導(dǎo)體氣體傳感器的制作與測(cè)量
4.3.1 經(jīng)典結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體氣體傳感器
4.3.2 MEMS 半導(dǎo)體氣體傳感器
4.4 半導(dǎo)體氣體傳感器的應(yīng)用
參考文獻(xiàn)
第 5 章電化學(xué)氣體傳感器
5.1 電化學(xué)氣體傳感器的理論基礎(chǔ)
5.1.1 電極電勢(shì)
5.1.2 雙電層
5.1.3 電化學(xué)熱力學(xué)
5.1.4 電極過(guò)程動(dòng)力學(xué)
5.2 電化學(xué)氣體傳感器的工作原理及分類
5.2.1 氣體傳感器的電化學(xué)反應(yīng)過(guò)程
5.2.2 電化學(xué)氣體傳感器的反應(yīng)特點(diǎn)
5.2.3 燃料電池型氣體傳感器
5.2.4 伽伐尼型氣體傳感器
5.2.5 定電位電解型氣體傳感器
5.3 電化學(xué)氣體傳感器的結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)
5.3.1 殼體
5.3.2 擴(kuò)散層
5.3.3 電極
5.3.4 電解質(zhì)
5.4 電化學(xué)傳感器的制作工藝與性能
5.4.1 電化學(xué)氣體傳感器的制作工藝
5.4.2 傳感器的性能
5.5 電化學(xué)氣體傳感器的應(yīng)用
5.5.1 工業(yè)領(lǐng)域
5.5.2 民生安全健康領(lǐng)域
5.5.3 醫(yī)療領(lǐng)域
5.5.4 飲酒檢測(cè)領(lǐng)域
第 6 章固體電化學(xué)氣濕敏傳感器
6.1 固態(tài)電化學(xué)氣濕敏傳感器的分類與工作原理
6.1.1 根據(jù)工作模式分類
6.1.2 根據(jù)電解質(zhì)分類
6.1.3 固態(tài)電化學(xué)氣濕敏傳感器的工作特性
6.2 固態(tài)電化學(xué)氣濕敏傳感器的常規(guī)制備工藝和表征技術(shù)
6.2.1 常規(guī)制備工藝
6.2.2 表征技術(shù)：極化曲線和阻抗譜
6.3 固態(tài)電化學(xué)氣濕敏傳感器的應(yīng)用
6.3.1 汽車尾氣檢測(cè)
6.3.2 濕度檢測(cè)
6.3.3 氫氣檢測(cè)
6.3.4 VOC 檢測(cè)
6.4 固態(tài)電化學(xué)傳感器的新興技術(shù)
6.4.1 新型參比電極：錳系和全封閉式
6.4.2 新型傳感器結(jié)構(gòu)：變頻式
6.4.3 光耦合電化學(xué)傳感技術(shù)
參考文獻(xiàn)
第 7 章光學(xué)氣體傳感器
7.1 光學(xué)氣體傳感器概述
7.2 光學(xué)吸收型氣體傳感器
7.2.1 NDIR 氣體傳感器
7.2.2 TDLAS 氣體傳感器
7.2.3 光纖氣體傳感器
7.2.4 光聲光譜式氣體傳感器
7.3 光學(xué)氣體傳感器的應(yīng)用
參考文獻(xiàn)
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