激光等離子體極紫外光刻光源

定　價：￥79.00

作　者：	竇銀萍，宋曉偉，陶海巖
出版社：	國防大學出版社
叢編項：
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787118117936	出版時間：	2018-12-01	包裝：	平裝
開本：	32開	頁數(shù)：	112	字數(shù)：

內容簡介

　　激光等離子體極紫外光刻光源是下一代光刻的核心技術之一，廣泛應用于半導體光電產(chǎn)業(yè)并對集成芯片向微型化和智能化發(fā)展具有極大的促進作用?！都す獾入x子體極紫外光刻光源》首先介紹了用于光刻的激光等離子體極紫外光源的國內外發(fā)展現(xiàn)狀，并系統(tǒng)地闡述了激光等離子體光源的相關理論。其次介紹了用于6.7nm光源探測的平像場光柵光譜儀的設計、搭建及標定。最后，詳細介紹了工作波長6.7nm極紫外光源離子碎屑特性及其阻擋的實驗研究結果?！都す獾入x子體極紫外光刻光源》可作為光學、微電子等專業(yè)本科生的參考教材，也可作為激光與物質相互作用、激光等離子體、極紫外光刻技術、極紫外光輻射電子光譜術等領域的研究生、專業(yè)研究人員以及相關技術人員的參考用書。