位置敏感探測器的定位及結構改進研究

第1章 位置敏感探測器概述
1．1 位置敏感探測器的概述
1．2 PSD的研究歷史
1．3 PSD的應用實例
1．4 PSD的多自由度檢測
第2章 位置敏感探測器理論基礎
2．1 半導體基礎
2．2 半導體PN結的光電轉換
2．3 PSD的等效分析
2．4 二維PSD的RC傳輸線模型
2．5 PSD特性參數(shù)及其影響因素
第3章 幅值法定位檢測
3．1 光電流的理論解
3．2 PSD的幅值定位原理
3．3 基于單片PSD的多光束同步檢測技術
3．4 一維PSD的幅值法定位
3．5 二維PSD幅值法定位
3．6 幅值法的實驗測試
第4章 PSD的相位法多光束檢測
4．1 PSD相位法位置檢測的原理
4．2 相位法多光束檢測
4．3 PSD相位法實驗測試
第5章 增強橫向光電效應的機理研究
5．1 檢測環(huán)境對光電流的影響
5．2 增強橫向光電效應的研究
5．3 諧振腔基本原理
5．4 橫向光電效應增強的機理研究
5．5 結構設計
5．6 小結
第6章 諧振腔增強型PSD的數(shù)值驗證研究
6．1 諧振腔增強型結構的量子效率研究
6．2 增強型結構橫向光電效應的數(shù)值研究
參考文獻