射頻等離子體物理學

定　價：￥128.00

作　者：	[法] 帕斯卡·夏伯特，[英] 尼古拉斯·布雷斯韋特著；王友年，徐軍，宋遠紅譯
出版社：	科學出版社有限責任公司
叢編項：	現(xiàn)代應用物理學叢書
標　簽：	等離子體物理學物理學自然科學

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ISBN：	9787030459190	出版時間：	2015-10-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	321	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　從微電子工業(yè)到航天器推進系統(tǒng)乃至高效光源，低溫射頻等離子體在各種前沿技術中扮演著重要的角色，而且它是物理學、化學及工程學之間相互交叉的一個學科。《射頻等離子體物理學》主要聚焦在物理學方面，所以主要適用于應用物理及電子工程專業(yè)的研究生及科研人員。《射頻等離子體物理學》不僅對射頻等離子體的前沿進展進行綜述，同時也包括一些等離子體物理基礎知識，如有界等離子體的輸運及電學診斷?！渡漕l等離子體物理學》的風格有助于激發(fā)讀者學習的興趣，幫助讀者建立物理圖像和數(shù)學分析方法。通過實例分析，將理論應用到實際問題中，并留有超過100道的簡答題，讓讀者能夠快速掌握新知識，有信心解決與實驗相關的物理問題。

作者簡介

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圖書目錄

第1章概論
1．1 等離子體
1．2 微電子學中的等離子體工藝
1．3 等離子體推進
1．4 射頻等離子體：E-H和w模式
1．5 內(nèi)容簡介
第2章等離子體動力學與平衡
2．1 微觀描述
2．2 宏觀描述
2．3 整體粒子和能量平衡
2．4 電動力學描述
2．5 本章總結(jié)
第3章有界等離子體
3．1 空間電荷鞘層區(qū)
3．2 等離子體／鞘層過渡
3．3 等離子體區(qū)：輸運模型
3．4 本章總結(jié)
第4章射頻鞘層
4．1 響應時間
4．2 離子動力學
4．3 電子動力學
4．4 （高頻）RF鞘層的解析模型
4．5 重要結(jié)果歸納
第5章單頻容性耦合等離子體
5．1 恒定離子密度下電流驅(qū)動的對稱模型
5．2 非均勻離子密度的電流驅(qū)動模型
5．3 整體模型
5．4 其他放電參數(shù)范圍及放電位形
5．5 重要結(jié)果歸納
第6章多頻容性耦合等離子體
6．1 靜電近似下的雙頻CCP
6．2 高頻情況下的電磁模式
6．3 重要結(jié)果歸納
第7章感性耦合等離子體
7．1 電磁模型
7．2 等離子體自身的阻抗
7．3 變壓器模型
7．4 純感性放電的功率轉(zhuǎn)換效率
7．5 容性耦合
7．6 整體模型
7．7 重要結(jié)果歸納
7．8 進一步考慮
第8章螺旋波等離子體
8．1 在無界等離子體中的平行傳播
8．2 柱狀等離子體中傳播的螺旋波
8．3 螺旋波模式存在的條件
8．4 波功率的吸收：加熱
8．5 E-H-w模式轉(zhuǎn)換
8．6 重要結(jié)果歸納
第9章真實等離子體
9．1 高密度等離子體
9．2 磁化等離子體
9．3 電負性等離子體
9．4 擴展等離子體
第10章電測量
10．1 靜電探針
10．2 用于射頻等離子體的靜電探針
10．3 減速場分析器
10．4 共振及波診斷
10．5 重要結(jié)果歸納
附錄：習題解
參考文獻