微機電系統(tǒng)設計和原型設計指南

定　價：￥69.00

作　者：	[美] 喬爾·庫比著；李會丹，袁曉偉，王景中譯
出版社：	國防工業(yè)出版社
叢編項：	高新科技譯叢·微機電系列
標　簽：	暫缺

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ISBN：	9787118096903	出版時間：	2014-11-01	包裝：	平裝
開本：	16開	頁數(shù)：	134	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

《高新科技譯叢·微機電系列：微機電系統(tǒng)設計和原型設計指南》的目的是通過一個使用頂級計算機輔助設計工具進行布局布線和建模的MEMS設計體驗指導學生們，以提供一個健壯的、標準多元晶圓制造工藝的設計。許多這樣的工藝都有成熟的設計規(guī)則可以分離設計和制造挑戰(zhàn)。如果遵循這些規(guī)則，學生們能夠獲得他們所設計的東西。然而標準工藝的使用對可以制造的設備具有一些局限性，因為層數(shù)和層厚都是通過標準流程進行設置的，這種方式被成功地用于開發(fā)一些商業(yè)上成功的MEMS設備，這些設備在《高新科技譯叢·微機電系列：微機電系統(tǒng)設計和原型設計指南》中也有描述。

作者簡介

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圖書目錄

第1章引言
1.1 MEMS制造概述
1.2 共享晶圓工藝
1.2.1 多項目晶圓工藝
1.3 設計規(guī)則
1.4 版圖
參考文獻

第2章微觀力學
2.1 彈簧
2.1.1 并聯(lián)彈簧
2.1.2 串聯(lián)彈簧
2.2 屈曲
2.3 泊松比
2.4 切向應力和切向應變張量
2.5 其他梁
2.6 扭轉(zhuǎn)
2.7 薄膜
2.8 測試結構
2.9 阻尼
2.10 加速度計
2.10.1 懸臂梁
2.10.2 碰撞傳感器
2.11 壓力傳感器
參考文獻

第3章靜電驅(qū)動
3.1 機械回復力
3.2 梳狀驅(qū)動諧振器
3.3 懸臂梁諧振器
3.4 雙端固支梁諧振器
參考文獻

第4章光學MEMS
4.1 反射懸臂梁光調(diào)制器
4.2 單軸扭轉(zhuǎn)鏡
4.3 雙軸扭轉(zhuǎn)鏡：朗訊路由光電轉(zhuǎn)換器
4.4.Po1yMuMPs工藝中的法布里一珀羅干涉儀
4.5 獲取平整光學MEMS器件
參考文獻

第5章熱學MEMS
5.1 驅(qū)動器
5.2 冷臂-熱臂式熱驅(qū)動器
5.3 熱壓電雙晶片
5.4 輻射熱計
5.5 熱噴墨打印機
5.6 熱損傷限制熱驅(qū)動MEMS
參考文獻

第6章流體MEMS
6.1 運動方程
6.2 微流體
6.2.1 雷諾數(shù)
6.2.2 表面張力
6.2.3 接觸角度
6.2.4 毛細上升
6.3 噴墨打印
參考文獻

第7章封裝和測試
7.1 發(fā)布
7.2 測試設備
7.3 機械測試
7.4 電氣測試
7.5 光學特性
參考文獻

第8章從原型到產(chǎn)品：MEMS——自適應光學可變形反射鏡
參考文獻
微機電系統(tǒng)（MEMS）設計和原型設計指南