基于MEMS技術的硅脈象傳感與檢測系統(tǒng)的研究

第1章 概述
1.1 引言
1.2 脈象傳感器的分類和研究現狀
1.3 MOSFET壓力傳感器的研究現狀
1.4 納米硅／單晶硅異質結研究現狀
1.5 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象傳感與檢測系統(tǒng)的研究目的和意義
1.6 主要研究內容
第2章 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象傳感器的理論分析與結構設計
2.1 MOSFETs硅脈象傳感器的理論模型
2.2 MOSFETs硅脈象傳感器的理論分析
2.3 半導體材料壓阻效應基本理論
2.4 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象傳感器力敏結構設計
2.5 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象傳感器結構模型
2.6 本章小結
第3章 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象傳感器制作工藝
3.1 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象傳感器制作工藝
3.2 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象傳感器管芯性能檢測封裝結構
3.3 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象傳感器電源激勵方式
3.4 本章小結
第4章 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象傳感器的實驗結果與討論
4.1 納米硅／單晶硅異質結p-MOSFET特性
4.2 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象傳感器的靜態(tài)特性研究
4.3 懸臂梁式納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象傳感器的測試
4.4 納米硅／單晶硅異質結MOSFE7s脈象傳感器的溫度特性
4.5 本章小結
第5章 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象檢測的系統(tǒng)設計與實測結果分析
5.1 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)的概述
5.2 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)各功能模塊的設計
5.3 納米硅／單晶硅異質結MOSFETs脈象檢測系統(tǒng)的脈象檢測結果
5.4 采用人工神經網絡處理脈象檢測結果
5.5 本章小結
結論
參考文獻
后記