MEMS傳感器接口ASIC集成技術

第1章 引言
1.1 MEMS集成傳感器
1.2 MEMS傳感器接口電路集成技術特點及發(fā)展現(xiàn)狀
1.2.1 主要技術特點
1.2.2 國內(nèi)外發(fā)展趨勢
參考文獻

第2章 微加速度計接口ASIC集成技術
2.1 電容式加速度計接口電路
2.1.1 電容式微加速度計的工作原理
2.1.2 電容式加速度計接口電路
2.1.3 哈爾濱工業(yè)大學設計的閉環(huán)電容式加速度計接口電路
2.2 集成壓阻式加速度計接口電路
2.2.1 壓阻式加速度計的工作原理
2.2.2 壓阻式加速度計接口ASIC
2.3 集成壓電式加速度計接口電路
2.3.1 壓電式加速度計工作原理
2.3.2 壓電式加速度計接口電路
2.4 集成諧振式加速度計接口電路
2.4.1 諧振式加速度計工作原理
2.4.2 諧振式加速度計接口電路
2.5 集成熱對流武加速度計接口電路
2.5.1 熱對流加速度計的工作原理
2.5.2 熱對流加速度計接口電路
2.6 集成多軸加速度計接口電路
參考文獻

第3章 微機械陀螺接口ASIC集成技術
3.1 硅微機械陀螺
3.1.1 微機械陀螺等效電學模型
3.1.2 接口電路原理
3.1.3 PCB混合集成電路
3.2 石英微機械陀螺接口ASIC
3.2.1 石英微機械陀螺基本原理
3.2.2 石英微機械陀螺接口電路
3.3 典型集成微陀螺產(chǎn)品及應用
3.3.1 ADXRS300
3.3.2 ADXRS614
參考文獻

第4章 磁傳感器接口ASIC集成技術
4.1 各向異性磁阻傳感器
4.1.1 各向異性磁阻傳感器原理
4.1.2 各向異性磁阻接口ASIC電路
4.2 巨磁阻傳感器
4.2.1 巨磁阻傳感器原理
4.2.2 巨磁阻傳感器接口ASIC
4.3 巨磁阻抗傳感器
4.3.1 巨磁阻抗傳感器原理
4.3.2 巨磁阻抗傳感器接口ASIC
4.4 磁通門傳感器
4.4.1 磁通門傳感器原理
4.4.2 等效電學模型
4.4.3 磁通門傳感器接口ASIC
參考文獻

第5章 MEMS壓力傳感器等接口ASIC集成技術
5.1 集成壓力傳感器
5.1.1 集成壓力傳感器分類
5.1.2 集成壓力傳感器結構及工作原理
5.1.3 壓力傳感器接口電路
5.1.4 典型集成壓力傳感器產(chǎn)品及應用
5.1.5 國外各大公司集成壓力傳感器部分產(chǎn)品一覽
5.2微（型）麥克風
5.2.1 常見麥克風的種類
5.2.2 MEMS微麥克風
5.2.3 電容式麥克風的工作原理
5.2.4 微麥克風接口電路
5.2.5 典型產(chǎn)品及應用
5.3 MEMS紅外傳感器及接口電路
5.3.1 MEMS紅外傳感器工作原理
5.3.2 接口電路及單片集成
參考文獻