微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用（第三版）

　　《微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用（第3版）》集作者多年來(lái)的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)與研究成果，并結(jié)合近年來(lái)國(guó)際上的最新發(fā)展，綜合介紹微納米加工技術(shù)的基礎(chǔ)，包括光學(xué)曝光技術(shù)、電子束曝光技術(shù)、聚焦離子束加工技術(shù)、掃描探針加工技術(shù)、微納米尺度的復(fù)制技術(shù)、各種沉積法與刻蝕法圖形轉(zhuǎn)移技術(shù)、間接納米加工技術(shù)與自組裝納米加工技術(shù)。對(duì)各種加工技術(shù)的介紹著重講清原理，列舉基本的工藝步驟，說(shuō)明各種工藝條件的由來(lái)，并注意給出典型工藝參數(shù)；充分分析各種技術(shù)的優(yōu)缺點(diǎn)及在應(yīng)用過(guò)程中的注意事項(xiàng)；以大量圖表與實(shí)例說(shuō)明各種加工方法，避免煩瑣的數(shù)學(xué)分析；并以專門一章介紹微納米加工技術(shù)在現(xiàn)代高新技術(shù)領(lǐng)域的應(yīng)用，包括超大規(guī)模集成電路技術(shù)、納米電子技術(shù)、光電子技術(shù)、高密度磁存儲(chǔ)技術(shù)、微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)、生物芯片技術(shù)和納米技術(shù)。通過(guò)應(yīng)用實(shí)例說(shuō)明現(xiàn)代高新技術(shù)與微納米加工技術(shù)的不可分割的關(guān)系，并演示如何靈活應(yīng)用微納米加工技術(shù)來(lái)推動(dòng)這些領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步。與國(guó)內(nèi)外同類出版物的相比，《微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用（第3版）》的顯著特點(diǎn)是將用于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)、用于微機(jī)電系統(tǒng)制造與用于納米技術(shù)研究的微納米加工技術(shù)綜合介紹，并加以比較。首次將微納米加工歸納為平面工藝、探針工藝和模型工藝三種主要類型，突出了微納米加工與傳統(tǒng)加工技術(shù)的不同之處。全書(shū)既注重基礎(chǔ)知識(shí)又兼顧微納米加工領(lǐng)域近年來(lái)的最新進(jìn)展，并列舉大量參考文獻(xiàn)與互聯(lián)網(wǎng)鏈接網(wǎng)址，供進(jìn)一步發(fā)掘詳細(xì)信息與深入研究。因此不論是對(duì)初次涉足這一領(lǐng)域的大專院校的本科生或研究生，還是對(duì)已經(jīng)有一定工作經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)科技人員，都具有很好的參考價(jià)值。

　　崔錚，東南大學(xué)（原南京工學(xué)院）本科畢業(yè)（1981年），并獲該校碩士（1984年）和博士（1988年）學(xué)位。1989年受英國(guó)科學(xué)與工程研究委員會(huì)訪問(wèn)研究基金全額資助（SERC Visiting Fellowship），到英國(guó)劍橋大學(xué)微電子研究中心做博士后研究。1993年到英國(guó)盧瑟福國(guó)家實(shí)驗(yàn)室微結(jié)構(gòu)中心做高級(jí)研究員。1999年起任英國(guó)盧瑟福國(guó)家實(shí)驗(yàn)室微結(jié)構(gòu)中心首席科學(xué)家（Principal Scientist）以及微系統(tǒng)技術(shù)中心負(fù)責(zé)人（Group Leader）。在英國(guó)工作的20年中，先后參加和主持各種科研項(xiàng)目25項(xiàng)，其中l(wèi)O項(xiàng)為項(xiàng)目首席科學(xué)家。2004年當(dāng)選為英國(guó)工程技術(shù)學(xué)會(huì)（IET）會(huì)士（Fellow）。先后獨(dú)立與合作發(fā)表學(xué)術(shù)論文190余篇。2005年出版中文專著《微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用》（高等教育出版社），2006年出版該書(shū)的英文版《Micro- Nanofabrication Technologies and Applications》（高等教育出版社，Springer），2008年出版英文專著《Nanofabrication：Principles. Capabilities and Limits》（Springer），2009年出版《微納米加工技術(shù)及其應(yīng)用》（第二版）（高等教育出版社）。自1994年以來(lái)開(kāi)始與國(guó)內(nèi)開(kāi)展合作，先后受聘為國(guó)內(nèi)多家科研單位與大學(xué)的客座研究員、客座教授。2002年受聘為中國(guó)科學(xué)院海外評(píng)審專家。2004年獲中國(guó)科學(xué)院海外杰出學(xué)者（B類）基金。2007年參加中國(guó)科學(xué)院物理研究所納米電子材料與器件海外合作團(tuán)隊(duì)。2009年9月入選中共中央組織部第二批“千人計(jì)劃”（創(chuàng)新類），10月全職回國(guó)到中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所工作，創(chuàng)立了國(guó)內(nèi)首個(gè)印刷電子技術(shù)研究中心。2011年1月創(chuàng)立蘇州納格光電科技有限公司，致力于將印刷電子技術(shù)推向產(chǎn)業(yè)化。2012年3月，領(lǐng)銜印刷電子技術(shù)研究中心科研團(tuán)隊(duì)集體編著了中國(guó)第一本印刷電子學(xué)方面的專著《印刷電子學(xué)：材料、技術(shù)及其應(yīng)用》（高等教育出版社）。目前擔(dān)任中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所印刷電子學(xué)研究部主任。