金屬有機(jī)化合物氣相外延基礎(chǔ)及應(yīng)用

定　價(jià)：￥75.00

作　者：	陸大成，段樹(shù)坤著
出版社：	科學(xué)出版社
叢編項(xiàng)：	半導(dǎo)體科學(xué)與技術(shù)叢書(shū)
標(biāo)　簽：	有機(jī)化學(xué)

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ISBN：	9787030238450	出版時(shí)間：	2009-05-01	包裝：	精裝
開(kāi)本：	16開(kāi)	頁(yè)數(shù)：	361	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡(jiǎn)介

　　《金屬有機(jī)化合物氣相外延基礎(chǔ)及應(yīng)用（精）》可供從事半導(dǎo)體科研和生產(chǎn)的科研人員、大專(zhuān)院校教師和研究生使用。金屬有機(jī)化合物氣相處延（MOVPE）技術(shù)是制備化合物半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)、低維結(jié)構(gòu)材料，以及生產(chǎn)化合物半導(dǎo)體光電子、微電子器件的重要方法?！督饘儆袡C(jī)化合物氣相外延基礎(chǔ)及應(yīng)用（精）》是國(guó)內(nèi)第一本全面系統(tǒng)地介紹MOVPE的專(zhuān)著，從理論和實(shí)踐兩個(gè)方面分別論述了該技術(shù)的生長(zhǎng)系統(tǒng)和原材料特性等實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)、MOVPE生長(zhǎng)熱力學(xué)、化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)和輸運(yùn)現(xiàn)象等理論基礎(chǔ)。在此基礎(chǔ)上系統(tǒng)介紹了Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體材料生長(zhǎng)及其量子阱、量子點(diǎn)等低維結(jié)構(gòu)的MOVPE生長(zhǎng)，以及在光電器件和電子器件方面的應(yīng)用。書(shū)中附有大量參考文獻(xiàn)，以便讀者進(jìn)一步參考。

作者簡(jiǎn)介

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圖書(shū)目錄

前言
第1章緒論
1.1 外延生長(zhǎng)
1.2 MOVPE概述
參考文獻(xiàn)
第2章 MOVPE生長(zhǎng)系統(tǒng)
2.1 MOVPE氣體輸運(yùn)分系統(tǒng)
2.2 MOVPE生長(zhǎng)反應(yīng)室分系統(tǒng)
2.3 MOVPE尾氣處理分系統(tǒng)
2.4 MOVPE生長(zhǎng)控制裝置分系統(tǒng)
2.5 MOVPE外延層生長(zhǎng)的原位監(jiān)測(cè)
參考文獻(xiàn)
第3章原材料
3.1 金屬有機(jī)化合物源
3.2 氫化物源
參考文獻(xiàn)
第4章 MOVPE的熱力學(xué)分析
4.1 外延生長(zhǎng)速度的限制機(jī)構(gòu)
4.2 MOVPE生長(zhǎng)的固溶體固相成分與氣相成分關(guān)系
4.3 MOVPE生長(zhǎng)相圖與單凝聚相生長(zhǎng)區(qū)
4.4 摻雜
參考文獻(xiàn)
第5章 MOVPE化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)和質(zhì)量輸運(yùn)
5.1 MOVPE化學(xué)反應(yīng)動(dòng)力學(xué)
5.2 MOVPE反應(yīng)室內(nèi)的輸運(yùn)現(xiàn)象與模型化
5.3 MOVPE化學(xué)反應(yīng)一輸運(yùn)模型的應(yīng)用
參考文獻(xiàn)
第6章 MOVPE的表面過(guò)程
6.1 表面成核
6.2 外延生長(zhǎng)模式
6.3 MOVPE環(huán)境下的表面再構(gòu)
6.4 表面活性劑
參考文獻(xiàn)
第7章 Ⅲ-Ⅴ族半導(dǎo)體材料的MOVPE生長(zhǎng)
7.1 GaAs及其固溶體的MOVPE生長(zhǎng)
7.2 InP、GaP及其有關(guān)化合物的MOVPE生長(zhǎng)
7.3 銻化物的MOVPE生長(zhǎng)
7.4 氮化物的MOVPE生長(zhǎng)
7.5 選擇外延生長(zhǎng)和非平面襯底上的外延生長(zhǎng)
7.6 Si、Ge上Ⅲ-Ⅴ族半導(dǎo)體的MOVPE生長(zhǎng)
參考文獻(xiàn)
第8章 Ⅱ-Ⅵ族半導(dǎo)體材料的MOVPE生長(zhǎng)
8.1 ZnSe及其有關(guān)化合物的MOVPE生長(zhǎng)
8.2 ZnO及其固溶體的MOVPE生長(zhǎng)
8.3 HgCdTe的MOVPE生長(zhǎng)
參考文獻(xiàn)
第9章低維半導(dǎo)體材料的MOVPE生長(zhǎng)
9.1 量子阱結(jié)構(gòu)的MOVPE生長(zhǎng)
9.2 量子點(diǎn)和量子線結(jié)構(gòu)的生長(zhǎng)
參考文獻(xiàn)
第10章 MOVPE技術(shù)在半導(dǎo)體器件方面的應(yīng)用
10.1 發(fā)光二極管
10.2 激光器
10.3 太陽(yáng)能電池
10.4 半導(dǎo)體光探測(cè)器
10.5 高電子遷移率場(chǎng)效應(yīng)晶體管
10.6 異質(zhì)結(jié)雙極晶體管
10.7 光電集成電路
參考文獻(xiàn)
后記