微細加工技術

第1章　微型機械與微細加工概論/1
1.1　微機械及其特點/1
1.2　微細加工技術的概念及其特點/4
1.3　微細加工技術的分類/6
1.4　微細加工技術的應用/9
1.5　發(fā)展微細加工技術的意義/15
參考文獻/17
第2章　微機械與微細加工理論基礎/18
2.1　微機械學/18
2.2　微電子學/33
2.3　微光學/37
2.4　分子裝配技術/39
2.5　微細加工機理/41
參考文獻/4l
第3章　微細切削加工技術/44
3.1　微切削加工機理與物理特性/44
3.2　微細車削加工技術/50
3.3　微細銑削加工技術/58
3.4　微細鉆削加工技術/65
3.5　微細沖壓加工/69
3.6　微細磨料噴射加工/7l
3.7　微細切削加工工作環(huán)境/74
參考文獻/75
第4章　微細電加工技術/77
4.1　微細電加工技術概述/77
4.2　微細電火花加工的特點與實現(xiàn)條件/79
4.3　微細電極的在線制作與檢測/83
4.4　微細電火花加工中的脈沖電源與控制系統(tǒng)/90
4.5　微細電火花加工裝備/95
4.6　微細電火花銑削加工技術/100
4.7　微細電火花線切割加工技術/108
4.8　微細電化學加工技術/111
參考文獻/117
第5章　高能束流微細特種加工技術/118
5.1　電子束微細加工技術/118
5.2　離子束微細加工技術/126
5.3　激光微細加工技術/136
參考文獻/150
第6章　半導體材料的微細加工技術/152
6.1　集成電路的工藝基礎一一平面硅工藝/152
6.2　薄膜成形技術/154
6.3　摻雜技術/159
6.4　光刻技術/161
6.5　硅的體微加工技術/163
6.6　硅的表面微加工技術/171
6.7　鍵合技術/173
6.8　非硅半導體的腐蝕技術/175
參考文獻/176
第7章　納米加工技術/178
7.1　納米加工技術的特點/178
7.2　掃描探針顯微鏡及其在納米加工中的應用/180
7.3　微制造中的LIGA技術/188
參考文獻/197
第8章　生長型微細加工技術/199
8.1　化學氣相沉積（CVD）技術/199
8.2　物理氣相沉積（PVD）技術/204
8.3　離子束輔助鍍膜（IAC）技術/205
8.4　高速燃氣噴涂技術/207
8.5　化學鍍非晶態(tài)合金技術/209
8.6　電火花沉積陶瓷層技術/212
8.7　微弧氧化技術/214
8.8　三維微結(jié)構(gòu)的沉積加工技術/215
8.9　分子自組裝技術簡介/220
參考文獻/x1
第9章　典型零部件的微細加工/222
9.1　微構(gòu)件及其微細加工技術/222
9.2　微傳感器及其微細加工技術/232
9.3　微渦輪機/234
9.4　微型泵/234
9.5　微機器人/235
參考文獻/236