微機電系統(tǒng)設計與制造

定　價：￥30.00

作　者：	莫錦秋[等]編著
出版社：	化學工業(yè)出版社
叢編項：	光機電一體化叢書
標　簽：	機電一體化

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ISBN：	9787502552374	出版時間：	2004-03-01	包裝：	平裝
開本：	26cm	頁數(shù)：	177	字數(shù)：

內(nèi)容簡介

　　微機電系統(tǒng)（MEMS，即Micro Electro Mechanical System）與微電子學、信息學、材料科學和納米技術等密切相關，具有體積小、精度高、重量輕、性能可靠穩(wěn)定、能耗低、靈敏度高、工作效率高，以及多功能智能化和適于大批量生產(chǎn)，成本低廉等一系列優(yōu)點，有巨大的應用前景和經(jīng)濟效益，被公認為21世紀的重點發(fā)展高科技前沿學科。本書主要從普及的角度介紹微機電系統(tǒng)及其相關技術，全書共分為12章，分別對微機電系統(tǒng)的定義、起源及研究現(xiàn)狀、制造技術、系統(tǒng)構成、設計技術進行了深入淺出、通俗易懂的介紹。本書的特點是信息量大、系統(tǒng)全面，包含了微機電系統(tǒng)制造過程中微機械加工、微封裝、微檢測各個環(huán)節(jié)；微機電系統(tǒng)構成中的各種微傳感器、微執(zhí)行器、微構件、微系統(tǒng)的工作機理；先進的微機電系統(tǒng)設計技術以及計算機輔助技術；多種設計手段和實用軟件。本書可供希望了解或采用微機電系統(tǒng)的工程技術人員閱讀，也可作為機械工程類學生學習專業(yè)等選修課時的教學參考書。

作者簡介

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圖書目錄

第一章概述
1.1 微機電系統(tǒng)簡介
1.2 微機電系統(tǒng)的起源
1.3 微機電系統(tǒng)發(fā)展現(xiàn)狀
第二章微機電系統(tǒng)材料
2.1 硅材料
2.2 壓電材料
2.3 形狀記憶合金
2.4 超磁致伸縮材料
2.5 凝膠
2.6 電流變體
第三章微機械加工技術
3.1 傳統(tǒng)超精密與特種加工技術
3.2 微機電系統(tǒng)常用的集成電路工藝
3.3 硅微機械加工技術
3.4 光刻電鑄模造技術
3.5 微機械加工實例
第四章微封裝
4.1 封裝技術
4.2 三維堆裝
4.3 未來微機電系統(tǒng)封裝發(fā)展趨勢和方向
第五章微檢測技術
5.1 微結構的材料特性檢測技術
5.2 微機電系統(tǒng)構件的幾何量檢測
5.3 微系統(tǒng)的性能檢測
第六章微傳感器
6.1 物理傳感器
6.2 微型化學傳感器
6.3 微型生物傳感器
第七章微執(zhí)行器
7.1 靜電執(zhí)行器
7.2 壓電執(zhí)行器
7.3 電磁執(zhí)行器
7.4 SMA執(zhí)行器
7.5 熱執(zhí)行器
7.6 微流體執(zhí)行器
第八章微構件
8.1 結構梁
8.2 薄膜
8.3 鉸鏈
8.4 隧道探針
8.5 壓電換能器件
8.6 靜電微構件
第九章微系統(tǒng)應用
9.1 在汽車工業(yè)中的應用
9.2 微機器人
9.3 微型飛行器
9.4 在航空航天中的應用
9.5 在醫(yī)學中的應用
9.6 在軍事中的應用
9.7 在生物科學中的應用
9.8 在信息技術中的應用
第十章微尺度效應
10.1 微摩擦基礎
10.2 微尺度熱學
10.3 微流體尺度效應
10.4 微執(zhí)行器的尺度效應
第十一章微機電系統(tǒng)設計技術
11.1 引言
11.2 微機電系統(tǒng)設計的概念、任務及類型
11.3 微機電系統(tǒng)設計過程
11.4 微機電系統(tǒng)健壯性設計方法簡介
11.5 微機電系統(tǒng)設計方法學與發(fā)展方向
第十二章微機電系統(tǒng)計算機輔助技術
12.1 MEMS CAD設計原則
12.2 MEMS CAD 結構體系
12.3 MEMS建模與仿真
12.4 宏模型
12.5 建模語言VHDL-AMS簡介
12.6 常用軟件介紹