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機(jī)電產(chǎn)品微細(xì)加工技術(shù)與工藝

機(jī)電產(chǎn)品微細(xì)加工技術(shù)與工藝

定　價：￥5.40

作　者： 胡耀志等編著
出版社： 廣東科技出版社
叢編項：
標(biāo)　簽： 機(jī)電
ISBN： 9787535909572 出版時間： 1993-02-01 包裝：
開本： 19cm 頁數(shù)： 365頁 字?jǐn)?shù)：  

內(nèi)容簡介

　　本書從機(jī)電一體化的角度，論述了精密機(jī)械和微電子技術(shù)這兩方面的微細(xì)加工技術(shù)與工藝，介紹了集成電路的生產(chǎn)技術(shù)、工藝原理和加工方法。

作者簡介

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