大規(guī)模集成電路工廠潔凈技術(shù)

定　價：￥24.00

作　者：	（日）鈴木道夫等著；陳衡等譯
出版社：	電子工業(yè)出版社
叢編項：
標(biāo)　簽：	大規(guī)模集成電路工廠凈化

ISBN：	9787505306677	出版時間：	1990-09-01	包裝：
開本：	26cm	頁數(shù)：	522頁	字?jǐn)?shù)：

內(nèi)容簡介

　　本書闡述了當(dāng)前大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝對潔凈技術(shù)的要求和今后發(fā)展方向、超級潔凈室的設(shè)計、施工技術(shù)問題和應(yīng)采取的措施、輔助設(shè)施超純水、藥品、廢水處理和高純氣體等最新應(yīng)用技術(shù)以及潔凈室運行管理問題。