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固體電子學中的等離子體技術

固體電子學中的等離子體技術

定　價：￥3.30

作　者： 錢振型主編
出版社： 電子工業(yè)出版社
叢編項：
標　簽： 半導體器件 等離子體加工 低溫
ISBN： 9787505300965 出版時間： 1987-11-01 包裝：
開本： 26cm 頁數(shù)： 310頁 字數(shù)：  

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　　高等學校教學用書。

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