精密加工技術(shù)實(shí)用手冊(cè)

前言
總論
1精密加工和超精密加工范疇.特點(diǎn).分類(lèi)
1.1精密加工和超精密加工范疇
1.2精密加工和超精密加工的特點(diǎn)
1.3精密加工和超精密加工方法及其分類(lèi)
2精密加工和超精密加工機(jī)理及工藝原則
2.1加工概念的擴(kuò)展
2.2進(jìn)化加工原則
2.3微量加工理論
3精密加工和超精密加工的體系結(jié)構(gòu)
3.1精密加工系統(tǒng)工程
3.2影響精密加工和超精密加工的因素
4精密加工和超精密加工的形成和發(fā)展
4.1精密加工和超精密加工的形成
4.2精密加工和超精密加工的需求
4.3精密加工和超精密加工的技術(shù)地位和作用
4.4精密加工和超精密加工的發(fā)展趨勢(shì)和技術(shù)前沿
第1篇精密切削.磨削及其機(jī)床
第1章精密加工常用材料
1.1精密加工對(duì)材料的要求
1.2精密加工對(duì)材料使用性能的要求
1.3精密加工對(duì)材料工藝性能的要求
2達(dá)到精密加工材料性能的工藝措施
2.1熱處理過(guò)程中的組織性能變化
2.2改善加工性能的熱處理
2.3提高力學(xué)性能的熱處理
2.4提高耐磨性.耐腐蝕性的表面處理技術(shù)
2.5消除應(yīng)力.穩(wěn)定組織的熱處理
3精密加工常用金屬材料
3.1碳素鋼和合金鋼
3.2鑄鐵
3.3有色金屬
4常用非金屬材料
4.1工程陶瓷
4.2工程塑料
4.3復(fù)合材料
4.4其他材料
第2章金剛石刀具超精密車(chē)削
1金剛石刀具超精密車(chē)削機(jī)理
1.1切削厚度與材料切應(yīng)力的關(guān)系
1.2材料缺陷及其對(duì)超精密車(chē)削的影響
1.3加工表面的形成與質(zhì)量
2金剛石刀具的設(shè)計(jì)和刃磨
2.1超精密車(chē)削對(duì)刀具的要求
2.2金剛石的性能
2.3金剛石的結(jié)構(gòu)
2.4金剛石晶體的面網(wǎng)
2.5金剛石晶體各晶向的性能
2.6金剛石原料的選取
2.7金剛石晶體的定向
2.8金剛石刀具的設(shè)計(jì)
2.9金剛石刀具的刃磨
3影響金剛石超精密車(chē)削的因素
3.1金剛石刀具
3.2被加工材料
3.3超精密車(chē)床
3.4工作環(huán)境
3.5測(cè)量技術(shù)
4金剛石刀具超精密車(chē)削工藝
4.1刀具的磨損和耐用度
4.2切削速度的選擇
4.3積屑瘤的生成規(guī)律
4.4刀具鋒銳度對(duì)切削變形和加工表面質(zhì)量的影響
4.5進(jìn)給量和修光刃對(duì)加工表面粗糙度的影響
5金剛石刀具超精密車(chē)削的應(yīng)用及其發(fā)展
第3章精密磨削和超精密磨削
1概述
1.1精密和超精密磨料加工方法分類(lèi)
1.2精密磨削和超精密磨削磨料
1.3精密磨具和超精密磨削磨具
2普通磨料砂輪精密磨削
2.1精密磨削及其機(jī)理
2.2精密磨削砂輪選擇
2.3精密磨床
2.4精密磨削時(shí)的砂輪修整
2.5精密磨削時(shí)的磨削用量
2.6精密磨削時(shí)的砂輪平衡
3超硬磨料砂輪精密磨削
3.1超硬磨料砂輪磨削特點(diǎn)及應(yīng)用范圍
3.2金剛石微粉砂輪精密磨削
3.3超硬磨料砂輪磨床
3.4超硬磨料砂輪精密磨削工藝
3.5超硬磨料砂輪修整
4超精密磨削
4.1超精密磨削的概念.特點(diǎn)和應(yīng)用
4.2超精密磨削機(jī)理
4.3超精密磨床
4.4超精密磨削工藝
5精密和超精密砂帶磨削
5.1砂帶磨削方式.特點(diǎn)和應(yīng)用范圍
5.2砂帶磨削加工機(jī)理
5.3精密砂帶磨床和砂帶磨削頭架
5.4精密砂帶磨削工藝
第4章光整加工
1光整加工的特點(diǎn)及類(lèi)型
2研磨
2.1研磨特點(diǎn)和分類(lèi)
2.2研磨機(jī)理和運(yùn)動(dòng)軌跡
2.3研具
2.4研磨劑
2.5研磨工藝參數(shù)
2.6研磨方法與研磨實(shí)例
2.7研磨的常見(jiàn)故障及排除方法
3拋光
3.1拋光機(jī)理與加工要素
3.2拋光輪
3.3拋光劑
3.4拋光工藝參數(shù)
3.5影響拋光表面質(zhì)量的因素
4珩磨
4.1珩磨原理及工藝特點(diǎn)
4.2珩磨頭
4.3工藝參數(shù)的選擇
4.4珩磨的切削過(guò)程
4.5珩磨液
4.6特種珩磨工藝
5超精加工
5.1超精加工原理及特點(diǎn)
5.2加工機(jī)理
5.3超精加工工藝參數(shù)與切削液
5.4超精加工頭和超精加工油石
5.5輪式超精磨
5.6無(wú)心外圓超精加工
6新型光整加工方法
6.1機(jī)械化學(xué)研磨
6.2磁力研磨
6.3非接觸研磨
6.4浮動(dòng)拋光
6.5光合拋光
第5章超精密加工機(jī)床
1概述
1.1超精密機(jī)床發(fā)展現(xiàn)狀
1.2超精密機(jī)床的發(fā)展趨勢(shì)
2超精密加工機(jī)床的設(shè)計(jì)
2.1對(duì)超精密機(jī)床的要求和設(shè)計(jì)原則
2.2超精密機(jī)床的分類(lèi)
2.3超精密機(jī)床的基本問(wèn)題
3超精密機(jī)床的基礎(chǔ)元部件和結(jié)構(gòu)
3.1超精密機(jī)床的總體布局
3.2精密主軸部件
3.3床身和精密導(dǎo)軌部件
3.4微量進(jìn)給裝置
3.5精密定位檢測(cè)元件
4典型超精密機(jī)床介紹
4.1半球車(chē)床
4.2半殼體車(chē)床
4.3Moore車(chē)床
4.4R-θ車(chē)床
4.52m鏡面車(chē)床
4.6LODTM大型光學(xué)金剛石車(chē)床
4.7DTM-3型大型超精密車(chē)床
4.8MSG-325型超精密車(chē)床
4.9OAGM2500大型超精密車(chē)床
4.10AHNIO型高效專(zhuān)用車(chē)削.磨削超精密機(jī)床
4.11超精密銑床
第2篇精密特種加工
第6章精密特種加工
1概述
1.1特種加工含義
1.2特種加工方法的種類(lèi)
1.3特種加工的特點(diǎn)
1.4特種加工技術(shù)的應(yīng)用范圍
2電火花加工
2.1電火花加工的基本原理.特點(diǎn)及分類(lèi)
2.2電火花加工的基本規(guī)律
2.3電火花成形加工設(shè)備
2.4工具電極
2.5電火花穿孔成形加工工藝
3電火花線切割加工
3.1電火花線切割加工原理原理.分類(lèi).特點(diǎn)及應(yīng)用范圍
3.2電火花線切割加工設(shè)備
3.3電極絲
3.4電火花線切割工藝
4電解加工
4.1電解加工基本原理.特點(diǎn)及應(yīng)用
4.2電解加工中的基本規(guī)律
4.3電解加工機(jī)床
4.4電解質(zhì)溶液
4.5電解加工工藝方法
4.6電解磨削
4.7電鍍加工
5電子束加工
5.1電子束的熱效應(yīng)及其加工
5.2電子束的化學(xué)效應(yīng)及其加工
5.3電子束加工裝置
5.4電子束加工的特點(diǎn)及應(yīng)用
6離子束加工
6.1離子束的力效應(yīng)及濺射現(xiàn)象
6.2離子束加工方法
6.3離子束加工裝置
6.4離子束加工的特點(diǎn)及應(yīng)用
7激光束加工
7.1激光的產(chǎn)生過(guò)程及特性
7.2激光束加工機(jī)理
7.3激光束加工方法
7.4激光束加工設(shè)備
7.5激光束加工的特點(diǎn)及應(yīng)用
8光刻加工
8.1工作原版制作
8.2光刻
9超聲加工
9.1超聲加工的基本原理和特點(diǎn)
9.2超聲加工設(shè)備
9.3超聲加工工藝
9.4超聲加工的應(yīng)用
第3篇微細(xì)加工與微型機(jī)械
第7章微細(xì)加工技術(shù)
1半導(dǎo)體微細(xì)加工技術(shù)
1.1氧化.摻雜與沉積
1.2刻蝕
1.3加工實(shí)例
2LIGA工藝
3特點(diǎn)微細(xì)加工技術(shù)
3.1微細(xì)電火花加工
3.2光成形微細(xì)加工
3.3其他微細(xì)加工方法
4粘接裝配技術(shù)
4.1粘接技術(shù)
4.2微操作裝配技術(shù)
第8章微型機(jī)械與微型機(jī)電系統(tǒng)
1概述
2微型傳感器
2.1微型壓力和流量傳感器
2.2微型加速度傳感器
2.3微型陀螺儀
3微型致動(dòng)器
3.1微型旋轉(zhuǎn)/角位移致動(dòng)器
3.2微型直線/振動(dòng)型致動(dòng)器
4微量流體控制器件與系統(tǒng)
4.1微型閥
4.2微型泵
4.3微量流體控制系統(tǒng)
第4篇精密測(cè)量和質(zhì)量保證
第9章精密測(cè)量技術(shù)
1精密測(cè)量原理
1.1測(cè)量的一般概念
1.2精密測(cè)量原理
1.3制定測(cè)量方案時(shí)應(yīng)考慮的若干因素
2典型幾何量的測(cè)量方法與儀器
2.1常見(jiàn)的幾何量測(cè)量?jī)x器
2.2軸類(lèi)零件的測(cè)量
2.3孔類(lèi)零件的測(cè)量
2.4錐度測(cè)量
2.5螺旋線的測(cè)量
2.6漸開(kāi)線的測(cè)量
3典型物理量的精密測(cè)量方法與儀器
3.1常用的力學(xué)性能測(cè)試
3.2振動(dòng)性能檢測(cè)
4精密測(cè)量的精度分析
4.1測(cè)量誤差的來(lái)源分析
4.2評(píng)定測(cè)量精度的兩個(gè)綜合性指標(biāo)
4.3精密測(cè)量中的誤差理論
5典型精密測(cè)量系統(tǒng)簡(jiǎn)介
5.1雙頻激光外差干涉儀及應(yīng)用
5.2圓度儀及圓度測(cè)量
5.3三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)
5.4莫爾條紋技術(shù)
第10章微尺寸測(cè)量技術(shù)
1微小尺寸測(cè)量的概念和特點(diǎn)
2微位移的測(cè)量
2.1光干涉法微位移的測(cè)量
2.2外差干涉輪廓測(cè)量
3平面度和表面粗糙度的測(cè)量
3.1平面度誤差的測(cè)量和數(shù)據(jù)處理
3.2表面粗糙度的測(cè)量及儀器
4微細(xì)圖形尺寸的測(cè)量
4.1比較測(cè)量
4.2直接測(cè)量
5臺(tái)階.膜厚的測(cè)量及其他
5.1臺(tái)階測(cè)量
5.2膜層厚度測(cè)量
第11章微位移技術(shù)
1概述
1.1微位移機(jī)構(gòu)的分類(lèi)
1.2微位移系統(tǒng)的應(yīng)用
2微位移機(jī)構(gòu)的原理
2.1壓電.電致伸縮器件
2.2電磁驅(qū)動(dòng)器件
2.3電熱式微位移機(jī)構(gòu)
2.4機(jī)械式微位移機(jī)構(gòu)
3柔性鉸鏈
3.1柔性鉸鏈的類(lèi)型及特點(diǎn)
3.2柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)
4精密微動(dòng)工作臺(tái)的設(shè)計(jì)及其特性分析
4.1精密微動(dòng)工作臺(tái)的設(shè)計(jì)要求
4.2精密微動(dòng)工作臺(tái)設(shè)計(jì)中的幾個(gè)問(wèn)題
4.3精密微動(dòng)工作臺(tái)的設(shè)計(jì)
5常用的微動(dòng)工作臺(tái)簡(jiǎn)介
5.1柔性支承-壓電或電致伸縮微位移驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)的微動(dòng)工作臺(tái)
5.2平行彈簧導(dǎo)軌
5.3滾動(dòng)導(dǎo)軌-壓電器件驅(qū)動(dòng)
5.4氣浮導(dǎo)軌
第12章誤差的在線檢測(cè)與補(bǔ)償技術(shù)
1概述
1.1先進(jìn)制造技術(shù)及其發(fā)展
1.2先進(jìn)制造系統(tǒng)中的質(zhì)量監(jiān)控技術(shù)
1.3影響加工精度的因素
1.4保證加工精度的途徑
2誤差檢測(cè)技術(shù)
2.1誤差檢測(cè)技術(shù)簡(jiǎn)述
2.2位稱(chēng)量的檢測(cè)
2.3機(jī)械加工
3誤差補(bǔ)償技術(shù)
3.1幾何誤差的補(bǔ)償
3.2熱誤差的補(bǔ)償
3.3機(jī)床誤差的其他補(bǔ)償方法
4在線檢測(cè)與補(bǔ)償系統(tǒng)舉例
4.1阿貝誤差實(shí)時(shí)修正系統(tǒng)
4.2機(jī)床熱誤差的測(cè)量與補(bǔ)償
第13章精密和超精密加工的支持環(huán)境
1空氣的環(huán)境和熱環(huán)境
1.1空氣環(huán)境
1.2熱環(huán)境
1.3潔凈室
1.4分層次的局部環(huán)境
2振動(dòng)環(huán)境
2.1振動(dòng)干擾的影響
2.2振動(dòng)干擾的消除
2.3隔振器的隔振原理
2.4隔振元器件
3噪聲環(huán)境
3.1噪聲及其影響
3.2噪聲源
3.3噪聲控制
4其他環(huán)境
4.1光環(huán)境
4.2靜電環(huán)境
5精密和超精密加工的環(huán)境設(shè)施
第5篇典型精密元件加工
第14章精密基準(zhǔn)件加工
1精密平板和直角尺加工
1.1精密平板的加工
1.2精密直角尺的加工
2精密分度板(盤(pán))加工
2.1精密分度板的技術(shù)要求
2.2精密分度板的加工工藝
2.3精密分度方法
3精密球加工
3.1球面研磨原理
3.2四軸自動(dòng)球面研磨原理
參考文獻(xiàn)